사회적 거리두기
2단계 시행
불요불급한 외출, 모임과 다중 이용시설 이용을 자제해 주시고 사람 간의 접촉을 최소화해주세요.
이번 추석 명절은 거리를 두더라도 마음은 가까이하며 집에서 쉬시기를 당부드립니다.
닫기
황철성 교수와 관련된 세부정보입니다.
황철성 사진

황철성

소속 재료공학부,하이브리드재료전공 직위 교수
전화번호 880-7535
주전공 전자재료
부전공 유전박막재료/반도체공정
위치 33-111
이메일 cheolsh@snu.ac.kr 홈페이지 http://dtfl.snu.ac.kr/

학력

  • Seoul National University: Ph.D. in Inorganic Materials Engineering (1993)
  • Seoul National University: M.S. in Inorganic Materials Engineering (1989)
  • Seoul National University: B.S. in Inorganic Materials Engineering (1987)

주요 연구분야

1. DRAM capacitor dielectric films and process integration
- (Ba,Sr)TiO3, SrTiO3, TiO2, BixTiySizO, Al2O3/HfO2 bi-layer dielectrics film research by MOCVD and ALD
- Metal electrode (Ru, Pt) MOCVD
- Metal (Ru, Pt)/poly-Si electrodes and barrier integration
- New structure and integration schemes

2. High-k gate dielectric films for MOSFETs
- Al2O3, HfO2, HfxSi1-xO2, TiO2 films by MOCVD and ALD
- Poly-Si/metal electrode integration
- Long channel and short channel MOSFET fabrication

3. Ferroelectric thin films and devices
- Pb(Zr,Ti)O3 thin film growth by MOCVD and ALD
- FeRAM device integration and reliability

4. New memory devices
- Resistive change random access memories
- Phase change random access memories

5. Dielectric phenomenology of high dielectric films and Leakage current mechanism for MIM and MIS capacitors
- C-V, I-V and P-V measurement in wide temperature range and phase transition behavior of thin film ferroelectrics
- modeling the leakage current phenomena and prove the model using numerical analysis

경력

  • Seoul National University, Associate professor (1998-present)
  • Germany Forschungzentrum Juelich research center (2004)
  • Samsung Electronics R&D Center (1994-1997)
  • NIST, Post-Doctorial Research Fellow (1993-1994)
공과대학소개
교육과정
대학생활
예약신청 및 IT 서비스
온라인 강의
소통광장
알림광장